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陶瓷内球面薄膜均匀镀复技术及专用工装

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  技术原理:采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术,在高纯氧化铝陶瓷内球面上,镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜,作为某装置内电极。
  创造性:国内尚无其他单位进行过类似的研制。
  先进性:本项技术的水平,可以由最终形成的装置的性能来间接反映。2005年1月,经过相关的技术鉴定,它的科技水平已达到国外同类产品水平。
  技术成熟...
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