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DXS-3扫描电子显微镜

1994年 应用技术
  • 成果简介
该仪器具有优良的光学系统及其稳定度电源,采用电脑控制、真空系统,电路设计合理;控制软件采用模块式结构易于功能的扩展,并具有检测维修程序,精密样品台设计便于更换样品,总体布局既考虑到主体技术指标的实现,又兼顾扩展功能附件的可行性,仪器备有波长色散谱仪、样品的吸收电子像的检测装置、半导体集成电路观测样品台、单片式扫描专用相机、同轴式光学显微镜等附件。
仪器结构新颖、设计合理...

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