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六十元线列碲镉汞长波红外探测器

1994年 应用技术
  • 成果简介
　　该成果攻克了制备高质量晶体件工艺的多项高难度技术，研制成功了高性能光导型单片60元线列碲镉汞长波红外探测器。开发了大面积晶片低损伤减薄、表面处理及纯化膜光敏元的精密成形、延伸电极等工艺，基本建立了一套单片60元线列芯片的集成工艺技术，攻克了无盲点、高精度的芯片拼接关键技术，这是国内碲镉汞多元器件工艺上的重大突破。此外，还研制了器件低阻低噪声抗电冲击的保护电路。该探测器的主要光电性能指标达到80...
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