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双光束激光扫描平面度仪

1993年 应用技术
  • 成果简介
该仪器采用He-Ne激光为光源,经过准直后入射一特殊棱镜组,将激光束分成两束光输出,棱镜组固定在一旋转的轴系上,可绕轴作360°旋转,使两束输出光在垂直轴的平面内进行扫描。它采用激光双光束自动补偿原理,消除了测量过程中激光及扫描机构运动引起的误差;对激光束振幅调制及对所接收光电信号进行同步相敏检波以提高抗干扰能力;使用微型计算机控制光电接收靶自动对准及数据采集和处理,实现了对各种大型工件加...
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