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微波电子回旋共振等离子体CVD设备

1993年 应用技术
  • 成果简介
　　微波电子回旋共振（ECR）等离子体是利用带电粒子在恒定磁场中，当满足ECR条件时就能够有效地、强烈地吸取微波能量，从而使气体在很低气压（10的负二次方～10的负三次方PA）下就能有效地电离和形成稳定的放电，产生高浓度和强活性的等离子体。该设备就是利用这个原理制成的新型化学气相沉积设备。其主要特点是：等离子体浓度高，反应气体活性强，实现了薄膜的室温淀积；淀积速率高，且对材料表面损伤很小。该设备做...
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