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大尺寸平行度垂直测量仪

1993年 应用技术
  • 成果简介
　　该仪器采用由单膜光纤与位相板组成的激光准直系统，以其产生的稳定的准直激光束为测量基线，配以转向五角棱镜及精密回转轴系，扫描互相平行或垂直的基准平面。采用CCD光电探测系统，提高了仪器的测量速度与精度。
　　主要技术指标：
　　测量长度为：8m；
　　精度优于：4×1010^(-6)L；
　　探测器的测量范围：＞10mm。
　　适用于重...
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