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超净高纯试剂（BV-Ⅱ）

1993年 应用技术
  • 成果简介
该试剂采用化学、物理等方法进行处理，然后选择最佳提纯方法进行提纯，在超净环境下过滤而获得成品。它主要用于大规模集成电路及半导体器件等方面的加工处理。
该产品的主要特点是金属杂质和非金属杂质含量控制严格（均在ppb级），其各项性能指标超过或达到国外同类产品的水平。研制的20个品种的BVⅡ级超净高纯试剂，其中2um以上颗粒数≤100个/100ml。...
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