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电子清洗气体氟甲烷的制备工艺

2001年 应用技术
  • 成果简介
项目研究的背景及用途
氟甲烷的制备工艺是天津大学石化开发中心应国外用户要求研究开发的技术成果,研制的产品达到了外商要求的质量指标。
氟甲烷用于火箭推进剂的掺合剂、喷雾剂、发泡剂、氟里昂原料等,现在最新用途则是用于大规模集成电路加工过程的清洗剂。
技术原理及流程:
由甲醇和氢氟酸水溶液通过固定床反应器,在氟化物催...
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