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一种微机械电磁继电器及其制备方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种微型电磁继电器及其制造方法属于先进制造技术领域。本发明是基于半导体微细加工工艺在硅片上制作的一种单稳态微机械电磁继电器，它由硅基板、励磁线圈、继电器触点、活动衔铁和硅基板正面的底层磁路、聚酰亚胺绝缘膜等部分组成；主要制造工艺特点是，1)首先从硅片正面制作底层磁路槽，利用溅射、电镀在槽内形成底层磁路，同时引出励磁线圈的中心端子；2)在底层磁路上生成聚酰亚胺膜和二氧化硅膜，使表面平坦并与底...
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