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采用准分子激光制备高聚物基生物芯片微流路结构的方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
准分子激光制备高聚物基生物芯片微流路结构的方法和系统属激光微细加工技术领域，方法包括：确定光斑面积；设置工作电压；根据微流路的尺寸及横截面形状设定加工参数和掩模图案；根据微流路结构绘制图并将生成数据文件存储以备调用；读取数据文件和加工参数检测后驱动工作台和激光器工作完成基片加工；按以上步骤或常规打孔加工盖片；键合基片与盖片。
系统包含：控制计算机及其控制的准分子激光器和...
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