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硅微机械加速度传感器生产

2006年 应用技术
  • 成果简介
工艺技术简介：
硅微机械加速度传感器主要生产工艺有体硅工艺及表面工艺，主要核心技术如下：1、建立了并行梁电阻网络测试加速度的理论和方法，并应用于硅微机械加速度传感器的设计。2、并行梁电阻网络单检质量块三轴集成硅微机械加速度传感器的设计、仿真、加工。3、面向环境的信号检测、温度补偿、适配电路的设计。4、专用信号处理ASIC设计、加工技术。5、系列化、模块化、工程化高可靠性...
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