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硅晶片超精密磨削用6HSiC高亲水性粉体材料的制备技术

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　在晶型制造方面，通过对国外，特别是日本硅晶片磨削用碳化硅粉体材料生产企业的装备和工艺分析，经过反复试验，最终选用多电源、多热源生产新工艺冶炼碳化硅原料，满足了硅晶片超精密磨削对碳化硅6H晶型的需求。
　　在颗粒形貌方面，产品颗粒越小、表面积越大酸洗越充分，影响产品质量的杂质去除的越彻底。原料整形过程中，产品形成前其形状越圆，经动力作用下破碎易形成产品所需的形状。
　　在...
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