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微机电系统表面杂质的短脉冲激光脱附机理的研究

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　纳米摩擦学的研究结果表明，对于MEMS系统，摩擦力是最主要的牵引力和驱动力，摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的性能和使用的寿命。微执行构件与基底的粘着是导致MEMS系统失能的主要因素。粘着是由于有残余的微液体存，如水，微量的液体与微构件和基底在表面能的作用下牢固的吸附在一起，当微构件开始运动时，粘着力会导致构件的断裂或撕落，即使在静止的状况下，粘着力也可能导致微构件的塑性...
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