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大功率半导体器件用金刚石导热基板的制备

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  该项目采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜设备进行金刚石导热基板的工艺研究,研究了影响金刚石膜质量和完整性的各种因素,通过设备改进、完善生产工艺,达到了金刚石导热基板批量生产的要求,具有明显的创新性。本项目对国内CVD金刚石膜技术的进步和产业化起到了重大的推进作用,其综合技术指标居国内领先水平。...
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