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AOM000X自动光学测量系统

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

简要技术说明及主要技术性能指标
主要技术性能指标测量范围：1.6×1.2-20×15mm
测量精度：1～10μm
重复精度：1μm～5μm
重复性：GR&R＜10%
与投影仪相关性：＞90%
镜头放大倍数：0.3×～4×
推广应用前景与措施
...

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