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一种制备锆钛酸铅厚膜的方法（中科院）

2004年

应用技术

初期阶段

成果简介

PZT（锆钛酸铅）材料具有十分优异的功能效应。近年来随着MEMS技术的迅速发展，急需研制厚度为1～10mm之间厚度的PZT厚膜，以产生足够大的位移量和电荷量。所以建立能制备性能优异、结构均匀、致密的PZT厚膜是当今材料研制的一大热点。
目前报道的制备PZT厚膜的工艺主要有两种：溶液法和0/3复合法。但存在膜层易开裂或表面不平整、结构不致密的问题，严重影响了膜层的实际应用...

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