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电磁场约束电感耦合等离子体增强气相沉积薄膜系统

2004年

应用技术

初期阶段

成果简介

　近几十年来，薄膜材料科学取得了令人瞩目的成就，具有优异综合性能和广泛应用前景的新型薄膜材料层出不穷，它的研发为新兴交叉学科的发展提供了材料基础。材料性能的优劣主要取决于制备该薄膜的成膜技术，目前主要以气相沉积为主，包括物理气相沉积法（PVD）和化学气相沉积法（CVD）。另外，在各种PVD和CVD成膜系统中还可配置辅助成膜的各种物理技术。
　　当用CVD法制备薄膜时，使用的源气体一...

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