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灵敏跟踪系统（STS）设备的研制

2001年

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中期阶段

成果简介

96-744-02-01国家重点科技攻关专题“灵敏跟踪系统（STS）设备的研制”是发展我国大规模集成电路和超大规模集成电路科研和生产必需的工艺环境关键设备。是国际上九十年代新发展的微环境技术新的洁净技术，通过和标准机械接口（SMIF）系统设备结合使用，可以把原来IC工业化大生产中对整个工艺环境的洁净室的要求缩小到只对晶片盒局部环境的要求，采用这种被称为微环境技术的新的洁净工艺流程国际上九十...

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