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等离子体微纳加工及关键技术基础研究

2016年 基础理论
  • 成果简介
　　本项目研发了新的、先进的等离子体源技术，以及等离子体在线诊断技术，并且应用于多种微纳电子器件与光电集成器件用的功能薄膜材料制备，材料表面改性以及托卡马克壁材料表面清洗等方面。它属于等离子体和离子束物理、凝聚态物理、微纳功能材料的结合与交叉的领域，是一项有重大应用背景的应用基础性研究。微纳加工技术的发展呼唤新一代的等离子体（源）技术，相关研究的深入，必将为等离子体技术的工业化发展提供理论和技术参...
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