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高效率低能耗G6多晶硅片

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目G6新热场设计研发，是通过借鉴国内外成熟的热场技术，并通过数值模拟软件——ANSYS进行数值模拟。为了能够生产高效多晶硅锭，需要对原有热场进行优化，使其拥有平整的等温面和更理想的固液界面。调整定向凝固散热块散热形式，优化熔化阶段散热结构，同时保证长晶阶段的散热成核和生长。本项目热场研发方案是对此特殊要求进行多次优化而研发得来。
　　工艺方面，基于晶体生长原理和热力学数值模拟技...
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