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193nm光刻胶单体（金刚烷系列）研发及产业化

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　项目来源于企业自选，本项目产品193nm光刻胶单体（金刚烷系列），是193nm光刻胶的主体材料。主要用于集成电路和半导体分立器件细微图形加工，是电子信息产业中超大规模集成电路关键材料，除广泛应用在与我们生活息息相关的手机、电脑等电子产品外，在航空航天、军事科技等领域有重要应用。由于美国等西方国家实施的《瓦森纳协定》对华产品及技术出口管制，对中国的电子材料产业发展具有深层次的影响。使中国在该领域...
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