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多晶硅棒热力学破碎装备

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  一种多晶硅棒热力学破碎工艺,其采用热力学的方法使多晶硅棒的内部获得极大的晶间应力,利用此应力的破坏性使硅棒轻易的破碎。所述破碎装备包括:采用热力学的方法使多晶硅棒升温的加热装置和采用骤冷介质使热态硅棒急剧降温的骤冷装置。该工艺及装备破碎任何方法制得的多晶硅棒时不产生细微离子。破碎过程中不会引起铁、铬、镍等金属离子的污染。适合于大批量的企业化生产。...
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