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具有保护环结构的肖特基结核电池及其制作方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种肖特基结的微型核电池及其制备方法，属于半导体、核物理和微能源领域。该电池的保护环6位于本征i层4上方的势垒金属层7外围环形区域；上电极金属层8将电信号从钝化层5和势垒金属层7的交界面上引出；钝化层5覆盖本征i层4上方除势垒金属层7和保护环6之外的所有区域；同位素9覆盖在势垒金属层7上方；本征i层4下方依次为形状大小一致的n+型半导体层3、欧姆接触层2和下电极金属层1。此外，也公...
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