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MOCVD外延片表面温度测量的紫外测温方法及装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种应用于MOCVD外延片表面温度测量的紫外测温方法，属于非接触紫外温度测量技术领域。首先，测量被测物体在选定波长下的热辐射信号强度，根据光电探测器的输出响应，调节子量程；其次，根据上步中的当前子量程，选择与光电探测器增益档位匹配的光源强度，进行反射率测量，进而得到发射率；根据上步得到的发射率对测得的热辐射信号强度进行发射率校正，得到被测物体表面的准确温度。本发明采用测量紫外波段热辐射并进行发...
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