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冷氢化炉结构优化及应用

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　现有的多晶硅生产工艺中，三氯氢硅的制备过程由开始的热氢化技术的高能耗逐渐转化为近年来采用的低能耗的冷氢化生产技术，虽然电耗实现了大幅度下降，但是目前采用的冷氢化工艺由于技术不太成熟，转化效率虽然有一定提升，仍然处于低位，系统平稳性差，运行周期较短等。为了适应市场的需求，降低生产成本，提升经济效益，因而有必要提高冷氢化炉的运行效率。
　　通过对冷氢化工艺的研究和优化，以提高冷氢化炉的...
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