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多晶硅生产关键技术-四氟化硅生产技术研发与设计

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　四氟化硅（分子式：SiF4）在电子和半导体行业具有广泛应用，是制备电子级硅烷和多晶硅的原料。还可用作光导纤维用高纯石英玻璃的原料，是一种极其重要的特种原料。
　　四氟化硅的生产方法主要有氟硅酸—硫酸法、萤石—氟化氢法、氟硅酸盐热解法等。这些方法普遍存在生产成本高、工艺流程复杂、环境污染严重等缺点和问题。
　　多晶硅是生产太阳能电池最主要的原材料，成本可占到整个太阳能电池...
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