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300mm离子注入机离子源产业化

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目涉及的是一个集成电路制造业所需的必备装备，是我国大力支持极大规模集成电路制造装备及成套工艺国家科技重大专项项目，半导体设备所需的材料和特殊加工是发展先进设备必不可少的。而作为集成电路生产的重要必备设备离子注入机，目前世界上能制造离子注入机的国家主要是美国和日本等，如Applied Materials，Axcelis Technologies，日本的NISSIN，SEN等。从技术研发来看，...
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