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多层结构Ga2O3深紫外透明导电膜研究

2016年 基础理论
  • 成果简介
　　深紫外透明导电膜属于透明导电膜的前沿领域，可用于紫外光电器件的透明电极，有广泛的应用前景。近年来有关于深紫外透明导电膜实验工作的少数报道，但未见Ga2O3基多层交替结构深紫外透明导电膜的报道。本项目采用磁控溅射技术和基片旋转方法相结合制备Ga2O3/ITO多层交替结构和Ga2O3/ZnN多层交替结构，然后外退火形成界面扩散。实验研究溅射工艺参数、多层膜的单层厚度和层数、退火温度和退火气氛对多层...
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