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微、纳米功能薄膜分析方法研究及其国家标准制订

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　由上海市计量测试技术研究院承担的，上海市质量技术监督局2013年度科研项目《微、纳米功能薄膜分析方法研究及其国家标准制订》，目前已完成了项目任务书中的各项研究内容。本项目通过对金属氧化物薄膜开展薄膜厚度及组分的测定，利用辉光放电发射光谱，建立了一种有效表征金属氧化物薄膜厚度及组分的测量评价方法，通过与华东师范大学以及中国科学院化学研究所合作，共同完成了国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱...
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