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光刻物镜奇像差原位检测方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法，本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值，确定最佳测量位置，获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系，提高像差的检测精度。
　　光刻机投影物镜奇像差会引起成像位置的横向偏移、图形线宽不对称等问题，从而影响光刻机的套刻精度、降低光刻成像的CD均匀性。随着光刻特征尺寸的不断...
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