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沉积装置及制备圆柱形和圆筒形各向同性热解碳的方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及一种沉积装置，沉积装置包括上导流锥、下导流锥、沉积基体和沉积室，上导流锥和下导流锥在沉积室的内部通过其各自的底面相对而置，底面上分别具有从其延伸出的圆柱形的上凸台和下凸台；上凸台和下凸台分别伸入沉积基体的内部配合固定，沉积基体与上导流锥和下导流锥的底面接触的端面为非镜面，沉积基体的内壁与上凸台和下凸台的外壁之间分别保留0.5?1.5mm的间隙。本发明还提供一种利用该沉积装置制备圆柱形...
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