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硅微通道板MEMS结构电化学乙醇传感器研制

2016年

基础理论

成果简介

　　本项目利用MEMS技术构建Ni-Pd/Si-MCP（镍-钯/硅-微通道）纳米复合结构电极材料，研究其对乙醇浓度的敏感特性，以期制备出效率更高和成本更低的微型一体化乙醇传感器。首先，利用自制的程控电化学刻蚀系统，通过化学溶液湿法腐蚀制备出大比表面积且有较高深宽比的硅微通道板。这种材料的最大优势在于它可以与集成电路工艺有良好的兼容性，并且通道结构有较高的深宽比，这样就可以为活性材料提供较大的活性面...

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