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纳米级精度伺服驱动进给系统

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　纳米级精度伺服驱动进给系统是指系统的运动位移在几微米和几百微米的范围内，其分辨率、定位精度和重复定位精度在纳米级的范围内，该系统可以是单自由度和多自由度，该系统的特性反映出与传统的位移机构有很大的不同，其传动副是弹性平板（elastic plate）和柔性铰链（Flexure links）， 结构结构的主要特点：结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙的传动导向机构。同时此技术涉及到精密机械、计算...
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