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10微米无支撑超薄陶瓷片的制备及在红外热敏探测器中的应用

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　1） 实现了10微米左右无支撑超薄陶瓷片，并制备了性能优良的红外热敏探测器。
　　对于一般陶瓷的微细结构制备，目前主要有三种完全不同的途径可以获得。一种是对陶瓷进行切割和压片等为代表的机械工艺或化学刻蚀工艺，另外一种就是对陶瓷粉末加工成型的注射和失模技术，还有就是通过物理化学生长的方法获得。在我们遇到的技术难题中，采取以上任何一种方法，都无法解决致密性好、重复性好、可靠性好、成品率...
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