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用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，该装置由分光器、可调狭缝、高精度光谱仪、线宽反馈控制系统组成。本发明能对准分子激光器输出激光的线宽进行稳定的控制，具有使用方便、结构简单、对准分子激光器线宽连续调节的特点。本发明涉及准分子激光器，特别是一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置。窄线宽准分子激光器，如ArF激光器或者KrF激光器，是目前深紫外波段主要的光刻光源。本发明公开的线宽连...
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