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光刻机照明光源的描述方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种光刻机照明光源的描述方法。该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源。本发明减少了描述光刻机照明光源所需的变量数量，提高了获得最优光刻机照明光源的速度。光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备。光刻机系统包括照明光源、掩模、投影系统、晶圆等分系统。采用优化后的照明光源可以增大光刻工艺窗口，使更小特征尺寸图形的光刻成为可能。现代集成电路制造过程...
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