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硅基氮化镓光电子器件与信息系统

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目在国家自然科学优秀青年基金、国家自然科学青年基金、科技部973计划前期预研项目等6项国家和省部级课题的资助下，围绕硅基氮化镓微纳光电子器件与信息系统这一主题，从器件设计、微纳加工到系统集成，开展了深入而系统的研究，并获得了重要突破。主要发现点及科学价值概括如下：
　　1、高性能氮化物薄膜LED器件。课题基于硅衬底氮化物晶片，开发了硅衬底剥离和悬空氮化物薄膜背后减薄技术，实现了...
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