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物联网用MEMS（微电子机械系统）力学量传感器

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　该项目开展了MEMS压力传感器和加速度传感器关键技术研究和研制，并进行了批量化生产和应用，取得的主要创新点如下：
　　1、在压力传感器芯片上加载执行器减小了迟滞误差，提高了压力传感器的测量精度，在芯片上设计了屏蔽层，提高了抗电磁干扰能力。
　　2、利用不锈钢金属膜片低温焊接技术，保证了压力传感器的焊接熔深强度和气密性要求。
　　3、基于硅通孔的硅晶圆直接键合...

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