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LED衬底加工用研磨液及其制备方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明属于精密研磨加工领域，项目产品具体应用于光电行业LED 制造中硅、碳化硅、蓝宝石等衬底的高效精密研磨抛光。本发明通过在金刚石微粉中复合加入硬度比金刚石低的非金刚石纳米级抛光材料，实现微米级金刚石和非金刚石纳米抛光材料在加工LED 衬底材料方面的优势互补，解决目前微米级金刚石在加工LED 衬底片过程中出现的工件表面粗糙度值较高、有细小划痕与微裂纹等表面加工缺陷，同时也解决了仅应用非金刚...
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