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第三代半导体外延生长的在线监测关键技术及应用

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目是电子科技大学清洁能源与装备制造中心与北京智朗芯光科技有限公司、成都海威华芯科技有限公司联合研制，经过5年的发展，研发出一系列产品如：LED生长在线监测系统、半导体生产用薄膜和线宽光学测量设备（集成式和分离式）、厚硅膜测量系统（2um ～100um）以及一般薄膜测量反射仪和椭偏仪。现已制备出RT、RTC两种型号的在线监测仪，其能够实时测量MOCVD反应腔体内III族氮化物材料在外延生...

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