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横向高压器件衬底终端技术与耐压模型

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
横向高压器件LDMOS作为高压集成电路的核心器件广泛地应用在小家电,LED照明,适配器,网络通信设备等。LDMOS作为功率开关应用时,由于需要提供高压和大电流,常采用叉指状结构;由于小曲率终端区电场集中效应会导致该器件发生提前击穿,低的终端区耐压已经成为横向高压器件的瓶颈问题。
本项目围绕横向高压器件终端技术和耐压模型进行研究,提出了衬底终端技术,突破横向高压器件小区率...
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