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高性能氮化镓基外延结构工艺

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

映瑞光电科技（上海）有限公司作为国内领先的高端LED芯片及外延片研发制造的高新技术企业，通过自主创新，实现了外延技术的飞跃。
主要成果有三个方面：
（1）国际上率先引入物理气相沉积氮化铝薄膜（physical vapor deposition aluminum nitride, PVD AlN）。该技术在国际上仅有包括映瑞光电的几家公司采用，该技术采...

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