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宽幅大束流离子注入机

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
上海凯世通半导体股份有限公司于2011年2月-2013年9月期间承担了国家科技部科技型中小企业创新基金项目《低能大束流离子注入机》《立项代码：11C26213100903》。在上海市科委的支持下及公司的努力下，该项目于2013年9月顺利验收，各项考核指标均达到任务书要求。
通过总结和仔细研究国内外在低能束流传输机构的专利及成果，凯世通团队提出了可规避他人专利并且达到国际...
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