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高灵敏度固体电解质型氢气传感器

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目“高灵敏度固体电解质型氢气传感器”属于先进的利用电解质制作氢气传感器的高科技项目。采用硅MEMS技术制作微双桥结构体，利用化学溶胶-凝胶、水热法等制造技术复合电解质，模板法制作多孔电极，薄膜工艺制作电极，敏感元件制造主要工艺流程。
技术指标：显示分辨率：2×10-5；响应时间：≤18s；电参数：0.03%；功率消耗：89.3；测量范围：99.997%，技术性能处于...
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