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磁控溅射镀膜系统

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　目前的TFT玻璃镀膜机加工精度一般，在温度和保压都不够理想，而且容易造成破片，这不仅给公司会带来损失，同时也影响客户的信誉度。为了解决以上问题而专门设计了一种TFT低温镀膜系统。
　　1、采用低功率溅射电源、90±10℃腔体温度的镀膜方式，减少了耗能。
　　2、采用上、中、下三段分体加热装置与不锈钢镜面板反射隔热。
　　3、进片室放气口设计在百级间以及出片室...

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