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大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目简介：
　　大尺寸电子级硅单晶炉是利用直拉法（Czochralski法）生产集成电路用硅单晶的关键技术装备，在集成电路产业链中居重要的基础地位。大尺寸电子级硅单晶炉涉及半导体材料与工艺、自动控制、机械制造等多个领域，其核心技术和产品长期为少数国外公司所垄断并实行严格的技术保密和封锁，成为制约我国集成电路产业发展的瓶颈之一。因此，开展对大尺寸电子级硅单晶炉核心技术和装备的攻关是国...
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