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晶体生长中热毛细对流的时空演化及其磁场主动控制技术

2015年 基础理论
  • 成果简介
本项目属于工程热物理领域。单晶硅生长过程中,由于熔体中存在较大的温差、浓度差以及自由表面上的表面张力梯度,从而在熔体内诱导出自然对流和热毛细对流。这些对流不稳定性会在熔体内部产生热流体波,而使熔体微量杂质分布不均匀并形成生长条纹,即微观偏析;同时氧浓度的分布控制,一直是单晶生产中最棘手的问题。本项目主要揭示了单晶硅等生长过程中热毛细对流的时空演化规律及利用磁场主动控制对流不稳定性的机制。本...
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