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大规模集成电路晶圆刻蚀设备关键零部件

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、主要技术内容
大规模集成电路晶圆刻蚀设备关键零部件（腔体、加热器、分配器），对加工设备、工艺等要求极高；工作环境所需的高纯度、高耐腐蚀、高真空度、高洁净度（洁净度为100），对材料和表面处理提出非常高的要求。先锋公司已形成专业化的集精密加工、表面处理一体化的专业公司，研制工作在国内具有开创性，并加速推进了国内此类高端设备的开发进程。
腔体为刻蚀工...
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