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85kg级全自动蓝宝石单晶炉

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
蓝宝石是最具发展前景的三大LED主流衬底材料之一，蓝宝石单晶炉是制备蓝宝石单晶的重要设备。85kg级全自动蓝宝石单晶炉重点解决了热场均匀控制技术、载气流量和气压稳定性控制技术、提拉旋转机构稳定性控制技术三项关键技术问题，实现了生产过程中所有工艺参数的全自动控制，产品的整体性能达到了国外同类产品水平。85kg级全自动蓝宝石单晶炉产品的出现，使我国具备了大公斤级蓝宝石单晶炉的批量化生产能力，打...
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