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面向电火花加工的叠层微电极成形工艺

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
近几年，随着MEMS的发展和应用，工业领域对微型零件的需求越来越大。微型零件的结构尺寸微小，重量极轻，因此很难用普通加工方法对其加工成形。微细电火花加工是微细加工技术的一种，该技术可以加工各种超硬、脆材料（如硬质合金和淬火钢），并且在加工过程中的宏观切削力很小。基于这些特点，微细电火花加工非常适合微型零件的制备。由于三维微电极制备困难，因此微细电火花加工技术通常采用具有简单截面形状的微细电...
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